文库编辑:与文库管理员交谈!
您的身份是游客!
请您登录或注册
用户操作
翻译例文搜索
下载文件搜索
全部例文列表
全部文件列表
文章输入窗口
文件上传窗口
供求信息查看
供求信息发布
翻译文库规则
文库文章目录
最新文章列表
按时间倒序
按人气排列
按作者排列
按专业属性
共享文章目录
精华文章列表
译员翻译例文
文库文件目录
全部文件列表
最新下载文件
按时间倒序
按人气排列
按作者排列
按专业属性
共享文件排序
免费文件目录
文库论坛
翻译词汇查看
翻译词汇发布
翻译资源论坛
文库文章目录(按文体)
科技文献(158篇)  
行业词典(14篇)  
单位简介(102篇)  
产品说明(100篇)  
法律规章(291篇)  
司法行政(23篇)  
产业标准(40篇)  
企业规章(20篇)  
证明文书(48篇)  
外贸文书(22篇)  
合同范本(115篇)  
报告文体(45篇)  
文学体裁(174篇)  
新闻体裁(75篇)  
求职简历(66篇)  
翻译研究(26篇)  
其它应用文(140篇)  
文体未分类(319篇)  
   
文库文件目录(按文体)
科技文献(1)  
行业词典(135)  
单位简介(3)  
产品说明(1)  
法律规章(10)  
司法行政(2)  
产业标准(42)  
企业规章(1)  
证明文书(1)  
外贸文书(2)  
合同范本(2)  
文学体裁(3)  
求职简历(1)  
翻译研究(3)  
其它应用文(4)  
文体未分类(43)  
   
社区规则 |我的空间|  | 博客首页 | 译典论坛| 在线翻译| 中国译典| | 翻译文库|站点首页

中国在线翻译网翻译文库 字体大小: 大 中 小

Optimization of GI Process for a-Si:H TFT Characteristics

提交者: 微笑的天空  ||  提交日期:2013-2-24 17:51:00
文体属类:科技文献   ||性质: 免费   ||  方向: 中译英   ||  来源: 原创   ||   阅读:6162次
摘要:栅极绝缘层;氢化非晶硅; 界面处理; TFT特性;等离子增强化学气相沉积 Gate Insulator; a-Si:H; Interface Process; TFT characteristics; PECVD
 
在TFT小型化趋势下,需要进一步提高氢化非晶硅薄膜晶体管的TFT特性,尤其是开态电流特性。本文结合生产实际,阐述了工艺上改善氢化非晶硅开态电流特性的方法,包括提高单位面积栅绝缘层电容和改善载流子迁移率。实验结果表明,降低高速沉积栅绝缘层的气压和厚度,能有效提高单位面积栅极绝缘层电容。增加低速沉积栅绝缘层的Si/N比及优化氢等离子体处理工艺,可以有效改善载流子迁移率。



In the trend of TFT miniaturization, the TFT characteristics of a-Si:H thin film transistor need be improved, especially for Ion characteristics. Considering the actual production, the author explained the way to improve a-Si:H TFT characteristics in the production process. In order to improve Ion, the gate insulator capacitance per unit area and the carrier mobility should be increased. According to experimental results, when the pressure and thickness of gate insulator with high deposition rate reduced, the gate insulator capacitance per unit area can be improved effectively. On the other hand, when the Si/N ratio of gate insulator with low deposition rate increased, and the H2 Plasma process optimized, the carrier mobility can be improved effectively.



该提交者相关例文
好,投一赞成票 不好,投一反对票
好评:161,差评:150
<全部例文前一篇> <全部例文后一篇>

相关评论
暂无相关评论!
发表评论
您还没有登陆,只有会员才可在此发表评论!
标题
(100字符以内) *请您以负责任的态度发表评论,尊重他人,不诽谤、中伤或侮辱他人;
*请您遵守《全国人大常委会关于维护互联网安全的决定》及其它有关法律法规,您须为自己发表的内容承担相应法律责任;
* 本站有权保留或删除您发表的任何评论内容。
内容